A conceptual study on novel current mirror integrated cantilever (CMIC) mass sensor for micro-gram ($$\mu$$g) range sensing applications

悬臂梁 物理 航程(航空) 电流(流体) 工程类 航空航天工程 地质学 热力学 细菌 古生物学
作者
Menuvolu Tetseo,Kalpana Gogoi,Shashi Kumar,Gaurav Kumar,Rangababu Peesapati,Akhilrendra Pratap Singh,Pradeep Rathore
出处
期刊:Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems [Springer Nature]
卷期号:30 (3): 263-275 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s00542-023-05594-8
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