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BEOL Compatible Ultra-Low Operating Voltage (0.5 V) and Preconfigured Switching Polarization States in Effective 3 nm Ferroelectric HZO Capacitors

电容器 材料科学 铁电性 光电子学 铁电电容器 电压 极化（电化学） 电气工程 电介质 化学 工程类 物理化学
作者
Minjong Lee,Jin-Hyun Kim,Dan N. Le,Seojun Lee,Si-Un Song,Rino Choi,Youngbae Ahn,Seung Wook Ryu,Pil‐Ryung Cha,Chang‐Yong Nam,Seongbin Park,Jongmug Kang,Si Joon Kim,Jiyoung Kim
标识
DOI：10.1109/vlsitechnologyandcir46783.2024.10631444
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