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H2-mediated reduction of GeO2 and chemical vapor deposition of polycrystalline Ge porous films

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作者
Melek Cumbul Altay,S. Eroglu
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2023-09-15 卷期号：783: 140049-140049 被引量：4
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2023.140049
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