Optical and Surface Characteristics of TiO$_{2}$ Thin Films Deposited by using RF Magnetron Sputtering

材料科学 溅射沉积 高功率脉冲磁控溅射 溅射 薄膜 光电子学 腔磁控管 纳米技术
作者
Bong Ju Lee,Youn Saup YOON,Myung Bok LEE
出处
期刊:새물리 [Korean Physical Society]
卷期号:70 (7): 556-562
标识
DOI:10.3938/npsm.70.556

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