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Monolithic three-dimensional integration of silicon transistors
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作者
Bao Lam,
Yung Man Yu,
Hyunjun Nam,
Hsu-Chih Ni,
Shomik Chatterjee,
Shaloo Rakheja,
Jian‐Min Zuo,
Qing Cao
出处
期刊：
Nature
[Nature Portfolio]
日期：2026-05-27
被引量：1
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1038/s41586-026-10496-6
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