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Effect of laser power on subsurface damage in laser-assisted machining of monocrystalline silicon

单晶硅材料科学机械加工激光器激光功率缩放再结晶（地质）成核表征（材料科学）硅光电子学功率（物理）复合材料机械工程无定形固体工作（物理）图层（电子）非线性系统机制（生物学）激光加工热弹性阻尼工程物理光功率光学相（物质）

作者

Guohui Li,Gangjie Luo,Jiafu Zhou,Yang ou,Cheng Huang,Chaoliang Guan,Yifan Dai,Xiaoqiang Peng,Yupeng Xiong

出处

期刊：Journal of Manufacturing Processes [Elsevier BV]
日期：2026-02-23 卷期号：163: 126-146 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.jmapro.2026.02.037

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