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High-accuracy vectorial Hopkins lithography modeling with full incident-angle Mask3D awareness
作者
shaopeng guo,
Haofeng Chen,
Chunxiao Mu,
Kaixuan Su,
Song Zhang,
Hao Jiang,
David H. Wei,
Shiyuan Liu
出处
期刊：
Photonics Research
[Optica Publishing Group]
日期：2025-11-10
标识
DOI：10.1364/prj.578515
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