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Planar light valve: an 8192-channel MEMS-based spatial light modulator for high-speed amplitude and phase modulation
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作者
Alexander Payne,
James Hunter,
Michael Yeung,
Greg Myatt,
Tianbo Liu,
Stephen Hamann,
Gregory Jacob,
Masamine Someha,
Hong Wu,
Hirofumi Mizuno,
Yoshimi Hashimoto,
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DOI：10.1117/12.3044077
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