发布文献求助

已入深夜，您辛苦了！由于当前在线用户较少，发布求助请尽量完整地填写文献信息，科研通机器人24小时在线，伴您度过漫漫科研夜！祝你早点完成任务，早点休息，好梦！

Mechanistic Analysis of the Effect of Gap on Convex Curves of Wafer in Double-Sided Polishing

抛光薄脆饼正多边形化学机械平面化材料科学工程制图工程类计算机科学数学光电子学几何学复合材料

作者

Jiayu Chen,Yiran Liu,Xiangang Wang,Jun Cao,Wenjie Yu,Lei Zhu

出处

期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-06-09 卷期号：38 (3): 571-578

标识

DOI：10.1109/tsm.2025.3574490

求助该文献

最长约 10秒，即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI

我的文献求助列表浏览历史

一分钟了解求助规则 | 捐赠本站 | 历史今天

更新

2025年影响因子查询已上线 (2025-6-18)

更新

PDF的下载单位、IP信息已删除 (2025-6-4)

科研通是完全免费的文献互助平台，具备全网最快的应助速度，最高的求助完成率。对每一个文献求助，科研通都将尽心尽力，给求助人一个满意的交代。

实时播报: 希望完成签到，获得积分10

2秒前; 桐桐的应助被ttang11采纳，获得10

2秒前; moss完成签到，获得积分10

5秒前; 友好伟诚的应助被Dirsch采纳，获得30

5秒前; 酷波er的应助被LX采纳，获得20

7秒前; ding上传了应助文件

9秒前; 六六完成签到，获得积分10

10秒前; 香飘飘完成签到，获得积分10

11秒前; 完美世界的应助被淡水痕采纳，获得10

12秒前; 冰河完成签到，获得积分10

13秒前; pancake发布了新的文献求助10

15秒前; yue完成签到，获得积分10

16秒前; 隐形曼青上传了应助文件

16秒前; 科研通AI6的应助被温良恭俭让采纳，获得10

16秒前; 玉米之路发布了新的文献求助10

17秒前; 傲娇的汽车发布了新的文献求助10

17秒前; 李健上传了应助文件

20秒前; joysa发布了新的文献求助10

21秒前; Dirsch上传了应助文件

21秒前; 泌外科研完成签到，获得积分10

21秒前; 摆烂完成签到，获得积分10

22秒前; 秀丽奎完成签到，获得积分10

23秒前; 无心的柚子上传了应助文件

23秒前; 真不错发布了新的文献求助10

26秒前; 科研通AI6上传了应助文件

26秒前; 子焱发布了新的文献求助10

26秒前; 科研通AI2S上传了应助文件

27秒前; 科研通AI6上传了应助文件

28秒前; 赘婿上传了应助文件

30秒前; 真不错完成签到，获得积分10

33秒前; xxjbuaa上传了应助文件

36秒前; KJ发布了新的文献求助10

36秒前; 王思蒙发布了新的文献求助20

37秒前; Zengjx关注了科研通微信公众号

40秒前; JiangyingYu发布了新的文献求助10

42秒前; 华子发布了新的文献求助20

44秒前; 深情安青的应助被小猪采纳，获得10

45秒前; 张mingyu123发布了新的文献求助10

45秒前; 共享精神上传了应助文件

45秒前; Lucas上传了应助文件

48秒前

高分求助中: 晶体学对称群—如何读懂和应用国际晶体学表 1500; Constitutional and Administrative Law 1000; Microbially Influenced Corrosion of Materials 500; Die Fliegen der Palaearktischen Region. Familie 64 g: Larvaevorinae (Tachininae). 1975 500; Numerical controlled progressive forming as dieless forming 400; Rural Geographies People, Place and the Countryside 400; Machine Learning for Polymer Informatics 400

热门求助领域（近24小时）

热门帖子: 关注科研通微信公众号，转发送积分 5385100; 求助须知：如何正确求助？哪些是违规求助？ 4507800; 关于积分的说明 14028997; 捐赠科研通 4417585; 什么是DOI，文献DOI怎么找？ 2426609; 邀请新用户注册赠送积分活动 1419298; 关于科研通互助平台的介绍 1397675

今日热心研友

淡定的初夏

注：热心度 = 本日应助数 + 本日被采纳获取积分÷10

Copyright © 2020-2025 AbleSci.COM, 科研通, All Right Reserved

科研通是非营利科研互助平台，不忘初心，为科研助力

本站互助的所有文件仅供个人学习研究用，禁止任何人把求助的所得文献进行盈利或传播

皖ICP备2024041134号-1

皖公网安备34019202002308

科研通【文献互助QQ群】：如果您有特殊求助，或发布求助超过24小时未得到应助，可加群求助，群号：941272744【点击一键加群】

科研通【志愿服务QQ群】：如果您热爱文献互助，有热心愿意为更多人服务，请加入小伙伴群，点击申请加入

关注微信服务号

科研通