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Phosphorus emitter engineering by plasma-immersion ion implantation for c-Si solar cells

等离子体浸没离子注入材料科学共发射极等离子体太阳能电池离子注入单晶硅光电子学兴奋剂涂层硅离子纳米技术化学有机化学物理量子力学

作者

Thomas Michel,Jérôme Le Perchec,Adeline Lanterne,R. Monna,Frank Torregrosa,Laurent Roux,Mireille Commandré

出处

期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
日期：2014-11-25 卷期号：133: 194-200 被引量：15

链接

cea.hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.fr cea.hal.science archives-ouvertes.frdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.solmat.2014.11.014

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