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Phosphorus emitter engineering by plasma-immersion ion implantation for c-Si solar cells

等离子体浸没离子注入 材料科学 共发射极 等离子体 太阳能电池 离子注入 单晶硅 光电子学 兴奋剂 涂层 硅 离子 纳米技术 化学 有机化学 物理 量子力学
作者
Thomas Michel,Jérôme Le Perchec,Adeline Lanterne,R. Monna,Frank Torregrosa,Laurent Roux,Mireille Commandré
出处
期刊：Solar Energy Materials and Solar Cells [Elsevier BV]
日期：2014-11-25 卷期号：133: 194-200 被引量：15
链接
cea.hal.science archives-ouvertes.fr archives-ouvertes.fr cea.hal.science archives-ouvertes.frdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.solmat.2014.11.014
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