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Novel phosphate-functionalized silica-based dispersions for selectively polishing silicon nitride over silicon dioxide and polysilicon films
作者
P.R. Veera Dandu,
Naresh K. Penta,
B. Peethala,
S. V. Babu
出处
期刊：
Journal of Colloid and Interface Science
[Elsevier BV]
日期：2010-04-19
卷期号：348 (1): 114-118
被引量：13
链接
nih.gov
doi.org
标识
DOI：10.1016/j.jcis.2010.04.034
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