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作者
Jui‐shen Chang,
Sinn-wen Chen
出处
期刊:
Journal of Electronic Materials
[Springer Science+Business Media]
日期:2015-02-17
卷期号:44 (4): 1134-1143
被引量:13
标识
DOI:10.1007/s11664-015-3660-5
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