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Temperature-dependent decrease in volume resistivity of electrostatic chuck dielectric layers: Role of phase composition and defect characteristics

材料科学 电阻率和电导率 电介质 薄脆饼 复合材料 夹紧 氮化物 介电损耗 相（物质） 放松（心理学） 绝缘体（电） 介电强度 导电体 半导体 凝聚态物理 阻挡层 电导率 工作（物理） 泄漏（经济） 光电子学 体积分数 氮化硼 高-κ电介质 静电学
作者
Yaoxing Wang,Lingxia Li,Ning Zhang,Zhilong Li,Zicong Jiang,Mingkun Du
出处
期刊：Journal of Alloys and Compounds [Elsevier BV]
日期：2026-10-14 卷期号：1083: 191751-191751
标识
DOI：10.1016/j.jallcom.2026.191751
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