Ultrathin, sputter-deposited, amorphous alloy films of ruthenium and molybdenum

材料科学 无定形固体 微晶 溅射 合金 溅射沉积 表面粗糙度 粒度 冶金 表面光洁度 薄膜 化学工程 复合材料 结晶学 纳米技术 化学 催化作用 工程类 生物化学
作者
Görsel Yetik,Alessandro Troglia,Saeedeh Farokhipoor,Stefan van Vliet,Jamo Momand,Bart J. Kooi,Roland Bliem,J.W.M. Frenken
出处
期刊:Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
卷期号:445: 128729-128729 被引量:5
标识
DOI:10.1016/j.surfcoat.2022.128729
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