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Reliable before-fabrication forecasting of MEMS piezoresistive pressure sensor: mathematical modelling and numerical simulation
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作者
Sumit Kumar Jindal,
Ritayan Patra,
Sayak Banerjee,
Arin Paul,
Dadasikandar Kanekal,
Ajay Kumar
出处
期刊：
Microsystem Technologies-micro-and Nanosystems-information Storage and Processing Systems
[Springer Science+Business Media]
日期：2022-05-16
卷期号：28 (7): 1653-1661
被引量：3
标识
DOI：10.1007/s00542-022-05305-9
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