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Cylindrical inertial electrostatic confinement plasma source for surface treatment

等离子体 喷射(流体) 原子物理学 材料科学 电子 电离 沉积(地质) 机械 化学 物理 离子 核物理学 沉积物 生物 古生物学 有机化学
作者
Dominik Tiedemann,Patrick Hofmann,Jens Emmerlich,Yung-An Chan,S. Ulrich,Georg Herdrich,Matthias Müller
出处
期刊:Vacuum [Elsevier BV]
卷期号:193: 110502-110502 被引量:10
标识
DOI:10.1016/j.vacuum.2021.110502
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