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Roughness development in plasma etching under shadowing effect

材料科学蚀刻（微加工）各向同性腐蚀干法蚀刻表面光洁度表面粗糙度等离子体复合材料等离子体刻蚀纳米技术光电子学光学蒙特卡罗方法反应离子刻蚀化学

作者

Xiaolong Jiang,Chuanchao Zhang,Xiaoyu Luan,Hongping Tang,Qinghua Deng,Baoshen Jia,Jingxuan Wang,Wei Liao,Wei Ni,Qihua Zhu

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2025-09-13 卷期号：715: 164617-164617

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2025.164617

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