Analysis of Threading Edge Dislocation Low-Angle Grain Boundary Network Distributions in 4H-SiC Wafers Through Synchrotron X-ray Topography and Ray-Tracing Simulation

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作者
Qianyu Cheng,Zeyu Chen,Shanshan Hu,Balaji Raghothamachar,Michael Dudley
出处
期刊:Journal of Electronic Materials [Springer Science+Business Media]
卷期号:54 (7): 5037-5050 被引量:1
标识
DOI:10.1007/s11664-025-11793-y
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