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High Speed Nanometer Positioning Using a Hybrid Linear Motor
作者
Hidenori Shinno,
Hitoshi HASHIZUME
出处
期刊：
CIRP Annals
[Elsevier BV]
日期：2001-01-01
卷期号：50 (1): 243-246
被引量：28
标识
DOI：10.1016/s0007-8506(07)62114-3
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