Preparation of Fine Particles of Metal-Metal Oxide Semiconductors by the Spray Pyrolysis Method.

本報では, 噴霧熱分解法 (SPM : Spray Pyrolysis Method) により Metal-MetalOxide半導体微粒子を製造することを目的として, 各種金属塩混合水溶液から, 不活性 (窒素) ならびに還元 (窒素/水素) 雰囲気における多成分系複合微粒子製造を行った.製造した微粒子の幾何学特性ならびに組成を, 走査型電子顕微鏡 (SEM), X線回折 (XRD) ならびにエネルギー分散型元素分析 (EDS) により調べ, SPMの反応部雰囲気がそれら微粒子特性に及ぼす影響を実験的に検討した.その結果, 本実験条件においては, 反応部雰囲気が生成微粒子の粒度分布ならびに形状に及ぼす影響はほとんど無く, 組成のみ影響を及ぼすことが確認できた.また, 反応部雰囲気の制御されたSPMをMetal-Metal Oxide半導体微粒子製造方法へ応用することが可能であることが確認できた.