活化能
等离子体增强化学气相沉积
材料科学
微晶硅
薄膜
微晶
体积分数
体积热力学
无定形固体
硅
分析化学(期刊)
晶体硅
非晶硅
复合材料
光电子学
纳米技术
化学
结晶学
物理化学
热力学
色谱法
物理
作者
Qingdong Chen,Junping Wang,Yuxiang Zhang,Jingxiao Lu
出处
期刊:Optik
[Elsevier BV]
日期:2016-05-17
卷期号:127 (18): 7312-7318
被引量:2
标识
DOI:10.1016/j.ijleo.2016.05.062
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI