Hochdetektive pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von LiTaO3

Zusammenfassung Eine in den letzten Jahren entwickelte flexible Herstellungstechnologie für pyroelektrische Infrarotsensoren auf der Basis von Lithiumtantalat (LiTaO 3 ) ermöglicht es, Sensoren zu entwerfen und zu fertigen, die einen hohen Signal-Rausch-Abstand besitzen und der geplanten Anwendung optimal angepasst sind. So wurden ultradünne, freitragende LiTaO 3 -Schichten mit einer Dicke von weniger als 1 μm hergestellt, mit denen die Sensoren eine spezifische Detektivität D * von über 5×10 9 cm Hz 1/2 W -1 erreichen.