A new approach for producing of film structures based on Si1-xGex

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作者
Ilya Gavrilin,Nikita Grevtsov,A. V. Pavlikov,Alexey Dronov,Е. Б. Чубенко,Vitaly Bondarenko,С. А. Гаврилов
出处
期刊:Materials Letters [Elsevier BV]
卷期号:313: 131802-131802 被引量:12
标识
DOI:10.1016/j.matlet.2022.131802

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