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物理
作者
Chieko Kuji,
Masayoshi Mizutani,
Kana Takenaka,
Keita Shimada,
Toyohiko J. Konno,
Hitoshi SOYAMA,
Tsunemoto Kuriyagawa
出处
期刊：
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier]
日期：2023-02-19
卷期号：81: 135-144
被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.precisioneng.2023.02.007
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