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Computational fluid dynamics modeling of a discrete feed atomic layer deposition reactor: Application to reactor design and operation

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作者
Matthew Tom,Henrik Wang,Feiyang Ou,Sungil Yun,Gerassimos Orkoulas,Panagiotis D. Christofides
出处
期刊：Computers & Chemical Engineering [Elsevier]
日期：2023-09-01 卷期号：178: 108400-108400 被引量：6
标识
DOI：10.1016/j.compchemeng.2023.108400
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