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A brief review on thermally induced oxidation and oxidative etching of thin MoS2 crystals

蚀刻（微加工） 氧化磷酸化 材料科学 化学工程 薄膜 纳米技术 光电子学 化学 图层（电子） 工程类 生物化学
作者
Robert Szoszkiewicz
出处
期刊：Physical Chemistry Chemical Physics [The Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：25 (18): 12555-12564 被引量：1
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d3cp00421j
摘要
Thin and single MoS 2 flakes have already been employed in the world of flexible nanoelectronics, particularly in sensing, optoelectronics and energy harvesting.
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