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Atomic layer-deposited Ta2O5−x nano-islands for charge trapping memory devices
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作者
Song Sun,
Li Gao,
Ping Han,
Lin Zhu,
Wei-Ming Li,
Ai-Dong Li
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[The Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01
卷期号：12 (46): 18676-18682
被引量：4
标识
DOI：10.1039/d4tc03089c
摘要
A CTM device based on amorphous Ta 2 O 5− x nano-islands as the storage medium was fabricated on Si using thermal ALD. Its switching characteristics, endurance/retention properties and photoresponse characteristics were analysed.
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