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Phase shift mask to compensate for mask 3D effect in high-numerical-aperture extreme ultraviolet lithography

材料科学 极紫外光刻 光学 平版印刷术 光电子学 抵抗 下一代光刻 极端紫外线 X射线光刻 航空影像
作者
Yong Ju Jang,Jung Sik Kim,Seongchul Hong,Jinho Ahn
出处
期刊：Nanoscience and Nanotechnology Letters [American Scientific Publishers]
日期：2016-09-01 卷期号：8 (9): 729-733 被引量：1
标识
DOI：10.1166/nnl.2016.2249
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