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作者
Saeed Mirzadeh,
Esmaeel Darezereshki,
Fereshteh Bakhtiari,
Mohammad Hassan Fazaelipoor,
Mohammad Raouf Hosseini
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2012-10-01
卷期号：16 (2): 374-378
被引量：69
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2012.09.008
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