Effective work function modulation of the bilayer metal gate stacks by the Hf-doped thin TiN interlayer prepared by the in-situ atomic layer doping technique

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作者
Yu‐Ting Lin,K.T. Huang,Hsin-Chih Lin,Miin‐Jang Chen
出处
期刊:Solid State Communications [Elsevier BV]
卷期号:258: 49-53 被引量:6
标识
DOI:10.1016/j.ssc.2017.04.015

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