Potential of micrometer-sized graphite as a catalyst for chemical etching of silicon

石墨 材料科学 蚀刻(微加工) 各向同性腐蚀 催化作用 化学工程 纳米技术 干法蚀刻 冶金 有机化学 化学 图层(电子) 工程类
作者
Hidetaka Asoh,Daichi Sekido,Hideki Hashimoto
出处
期刊:Materials Science in Semiconductor Processing [Elsevier BV]
卷期号:121: 105327-105327 被引量:11
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2020.105327
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