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Titanium oxide antireflection thin film on metal-assisted chemical etching black silicon substrate by liquid-phase deposition

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作者
Jung-Jie Huang,Chien-Sheng Huang,Jui-Yu Wang,Pei-Yu Chang,Chao-Nan Chen,Sin‐Liang Ou
出处
期刊：Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
日期：2022-05-13 卷期号：128 (6) 被引量：2
标识
DOI：10.1007/s00339-022-05637-3
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