Determination of elastic and creep properties of thin-film systems from indentation experiments

作者
Zhu Feng Yue,Gunther Eggeler
出处
期刊:Journal of Materials Science & Technology [Elsevier BV]
卷期号:16 (06): 559-567 被引量:8
链接
摘要

基于在薄电影的系统上测试的缩进的详细计算机模拟,现在的纸探索为一条简单 Norton 法律决定有弹性的性质(有弹性的 modulusE ^(f)和泊松比率 v (f))和creep 参数( CCREEP ^(f)和 nCREEP ^(f))的详细过程(e= CCREEP ^(f)σ^ n 克里族^(f),在 e 是creep 紧张率的地方,并且一是压力)为在creep 底层上涂的一部薄电影的材料,性质( E ^(s)和 v ^(s))和底层的creep 性质( CCREEP ^(s)和 nCREEP ^(s))其橡皮被知道,从分别地测试的缩进橡皮和creep 。厚度的影响薄电影并且缩进行为上的 indenter 的尺寸被讨论了。在薄电影和底层之间的边界在缩进 creep 行为上有大影响,这被显示出。缩进系统的相对尺寸被选择以便这部电影上的缩进的行为被底层影响。这部电影的二有弹性的参数 E ^(f) 和 v ^(f) 在缩进的有弹性的行为的影响上被联合。与二种不同尺寸缩排 ers,二有弹性的参数 E ^(f) 和 v 这部电影的 ^(f) 能被缩进特别地决定到应用网络节压力结果的深度的试验性的斜坡。二 Norton 法律参数 CCREEP ^(f) 和 nCREEP ^ 决定(f) 由稳定的缩进率包括下列步的过程 d。计算creep 缩进率在上的第一步某些大量二种不同尺寸然后在 CCREEP ^(f)和 nCREEP ^(f)的一套假定价值上缩排 ers 造在creep 缩进率和假定 CCREEP ^(f)和 nCREEP ^(f)之间的关系与试验性creep 缩进率将交叉其二个集合有 d 的一样的价值。最后步是从交叉点造 CCREEP ^(f) 和 nCREEP ^(f) 曲线因为二缩排 ers。这二曲线 CCREEP ^(f) 和 nCREEP ^(f)

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