计量学
干涉测量
光学
点(几何)
表面计量学
测量不确定度
物理
计算机科学
工程类
机械工程
数学
轮廓仪
表面光洁度
几何学
量子力学
作者
Gernot Berger,Marc Wendel
出处
期刊:
日期:2017-01-01
卷期号:: OM4B.4-OM4B.4
被引量:2
标识
DOI:10.1364/oft.2017.om4b.4
摘要
A method for non-contact 3D form testing of aspheres and complex optics is presented. The approach is applied to the measurement of freeforms and discontinuous optics and limitations of optical metrology of complex surfaces are discussed.
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