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Microwave GaAs ICs.

单片微波集成电路 砷化镓 光电子学 材料科学 微波食品加热 集成电路 工程类 电信 CMOS芯片 放大器
作者
Yoichiro Takayama
出处
期刊：The Journal of the Institute of Television Engineers of Japan [The Institute of Image Information and Television Engineers]
日期：1985-01-01 卷期号：39 (2): 142-149
链接
go.jpdoi.org
标识
DOI：10.3169/itej1978.39.142
摘要
マイクロ波GaAs FET技術の成熟化に伴う必然的な技術の流れとして, GaAsモノリシックマイクロ波IC (MMIC) の研究開発が活発化し, 実用化が始まろうとしている.種々の特徴を有するGaAs MMICの技術動向を概観するため, その構成および製造プロセスについて基本的な技術を解説し, 最近の実例を紹介する.
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