A 56 GHz Trilayer AlN/ScAlN/AlN Periodically Poled FBAR

材料科学 光电子学
作者
Wenhao Peng,Suhyun Nam,Ding Wang,Zetian Mi,Amir Mortazawi
标识
DOI:10.1109/ims40175.2024.10600386
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