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Modeling of 6H-SiC Wafer Heating duringRTP by Incoherent Radiation

薄脆饼材料科学辐射核工程光学光电子学工程类物理

作者

OLEG A. AGUEEV,ALEXANDER M. SVETLICHNY

出处

期刊：Journal of materials processing & manufacturing science [SAGE]
日期：2001-01-01 卷期号：9 (3): 223-229

标识

DOI：10.1106/nx7p-pnfe-d5cy-ecfw

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