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Electron-Microscopy Studies of the Structure of Thin Epitaxial Ge2Sb2Te5 Layers Grown on Si(111) Substrates

外延电子显微镜材料科学薄膜结晶学电子光电子学显微镜纳米技术化学光学图层（电子）物理量子力学

作者

Yu. S. Zaytseva,Н. И. Боргардт,A. S. Prikhodko,Eugenio Zallo,Raffaella Calarco

出处

期刊：Semiconductors [Pleiades Publishing]
日期：2021-12-01 卷期号：55 (13): 1033-1038 被引量：3

标识

DOI：10.1134/s106378262113011x

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