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Surface smoothing of diamond membranes by reactive ion etching process

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作者
C. Vivensang,Laurence Ferlazzo-Manin,M. F. Ravet,G. Turban,F. Rousseaux,A. Gicquel
出处
期刊：Diamond and Related Materials [Elsevier BV]
日期：1996-05-01 卷期号：5 (6-8): 840-844 被引量：55
标识
DOI：10.1016/0925-9635(95)00368-1
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