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Noise behaviors of a closed-loop micro-electromechanical system capacitive accelerometer
作者
Mingjun Ma,
Zhonghe Jin,
Yidong Liu,
Tieying Ma
出处
期刊：
Journal of Central South University
[Springer Nature]
日期：2015-12-01
卷期号：22 (12): 4634-4644
被引量：1
标识
DOI：10.1007/s11771-015-3014-8
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