Study of Schottky Diodes Based on an Array of Silicon Wires Obtained by Cryogenic Dry Etching

干法蚀刻 材料科学 肖特基二极管 光电子学 蚀刻(微加工) 二极管 纳米技术 图层(电子)
作者
A I Baranov,D. A. Kudryashov,A V Uvarov,I. A. Morozov,K Yu Shugurov,A. A. Maksimova,Ekaterina Vyacheslavova,А.С. Гудовских
出处
期刊:Technical Physics Letters [Pleiades Publishing]
卷期号:48 (2): 23-26 被引量:1
标识
DOI:10.1134/s106378502202002x
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