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Atomic layer deposition of lanthana thin films using high-purity lanthanum amino precursors

作者

Ronald S. Inman,Steven A. Schuetz,Carter M. Silvernail,Snjezana Balaz,P. A. Dowben,Gregory M. Jursich,James J. F. McAndrew,John A. Belot

出处

期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2007-03-13 卷期号：104 (2-3): 220-224 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.matchemphys.2007.03.002

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