Self-aligned 8nm T2T as cell boundary in the middle-of-line

直线(几何图形) 边界(拓扑) 计算机科学 数学 数学分析 几何学
作者
Philip Marien,Yannick Hermans,S. Choudhury,Souvik Kundu,Stefan Decoster,Fulya Ulu Okudur,D. Nageshwar Reddy,Bart Kenens,N. Jourdan,Gilles Delie,Giulio Marti,Chen Wu,Vernadette Vicuña Gonzalez,Gayle Murdoch,Sohee Park,Zsolt Tökei
标识
DOI:10.1109/iitc61274.2024.10732381
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