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Ion energy dependence of dry etch damage depth in Ga2O3 Schottky rectifiers

腐蚀坑密度肖特基二极管光电子学材料科学干法蚀刻离子肖特基势垒分析化学（期刊）蚀刻（微加工）化学纳米技术二极管有机化学图层（电子）色谱法

作者

Chao-Ching Chiang,Xinyi Xia,Jian-Sian Li,F. Ren,S. J. Pearton

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2023-05-11 卷期号：631: 157489-157489 被引量：7

链接

sciencedirect.comdoi.org

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2023.157489

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