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A study on H2 plasma treatment effect on a-IGZO thin film transistor

材料科学薄膜晶体管等离子体光电子学晶体管薄膜工程物理分析化学（期刊）纳米技术电气工程色谱法电压图层（电子）核物理学物理化学工程类

作者

Jihoon Kim,Seokhwan Bang,Seungjun Lee,Seokyoon Shin,Joo Hyun Park,Hyungtak Seo,Hyeongtag Jeon

出处

期刊：Journal of Materials Research [Springer Nature]
日期：2012-07-03 卷期号：27 (17): 2318-2325 被引量：108

标识

DOI：10.1557/jmr.2012.199

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