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A Comparative Study of HBr-Ar and HBr-Cl2 Plasma Chemistries for Dry Etch Applications

化学朗缪尔探针等离子体托尔分析化学（期刊）焊剂（冶金）体积流量稀释硅烷离子等离子体诊断热力学色谱法量子力学物理有机化学

作者

Alexander Efremov,Young‐Keun Kim,Hyun–Woo Lee,Kwang‐Ho Kwon

出处

期刊：Plasma Chemistry and Plasma Processing [Springer Science+Business Media]
日期：2010-12-28 卷期号：31 (2): 259-271 被引量：33

标识

DOI：10.1007/s11090-010-9279-7

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