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XPS and FTIR analysis of nitrogen incorporation in CNx thin films
作者
M. Tabbal,
Philippe Mérel,
S. Moisa,
Mohamed Chaker,
E. Gat,
A. Ricard,
Michel Moisan,
S. C. Gujrathi
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期：1998-01-01
卷期号：98 (1-3): 1092-1096
被引量：53
标识
DOI：10.1016/s0257-8972(97)00229-6
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