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Simulation-guided AI-driven digital twin for plasma etching in semiconductor fabrication
材料科学
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光电子学
蚀刻（微加工）
过程（计算）
等离子体
半导体
等离子体刻蚀
半导体器件制造
半导体材料
作者
Sanghoon Myung,
Kyeyeop Kim,
Chanyoung Lee,
Jinwoo Kim,
Yunji Choi,
Gijae Kang,
Namhyun Kim,
Bae Eun Jung,
Jaejun Lee,
Jiseong Doh,
Kyu Baik Chang,
Jaehyun Bae,
Sun-Taek Lim,
Seungmin Lee,
Kwang-Yong Yang,
Dohaing Lee,
KeunHee Bai,
Dae Sin Kim,
Jaehoon Jeong
标识
DOI：10.1016/j.device.2025.101026
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