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X-Band Bulk Acoustic Wave Resonators with High Figure of Merit Based on Al0.8Sc0.2N

功勋 谐振器 材料科学 声表面波 光电子学 物理 电气工程 声学 工程类
作者
Yuhan Zhu,Yinuo Zhang,Tianyou Luo,Xinyan Yi,Guoqiang Li
出处
期刊:IEEE Electron Device Letters [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:: 1-1
标识
DOI:10.1109/led.2024.3474733
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