Fabrication of low-roughness silicon acoustic lenses for high-frequency microelectromechanical system ultrasonic transducers using wet etching

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作者
Jinming Ti,Yuhan Ren,Junhong Li,Qingqing Fan,Chenghao Wang
出处
期刊:Applied Physics A [Springer Science+Business Media]
卷期号:131 (4)
标识
DOI:10.1007/s00339-025-08347-8
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